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更新時間:2024-12-24
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產(chǎn)品介紹
透射光柵是一種衍射光柵,旨在根據(jù)波長以特定角度衍射通過它們的光。與反射光柵相比,它們的對準(zhǔn)靈敏度較低,因此在環(huán)境的微小變化下使其更加堅固。
此外,與傳統(tǒng)的反射光柵相比,透射式光柵在吞吐量方面具有顯著優(yōu)勢,并且由于我們能夠使用熔融石英基板,我們能夠?qū)崿F(xiàn)深紫外靈敏度。
半導(dǎo)體式掩模對準(zhǔn)器在光刻廠處理高達8英寸的晶片。
特征
采用熔融石英基底的紫外線敏感型
與反射光柵相比,吞吐量高
可定制 OEM 解決方案
可重復(fù) — 低單位間變異
環(huán)境穩(wěn)定且堅固的設(shè)計
使能技術(shù)
Renegade 光譜儀
OEM-Ready, UV-VIS
環(huán)境穩(wěn)定且穩(wěn)健的設(shè)計
緊湊且可定制
高靈敏度——紫外敏感透射光柵
透射式光柵規(guī)格
VIS-NIR
SWIR
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
UV | 200-400 | 2500 | 15.5 |
UV-VIS | 200-800 | 1250 | 29.9 |
VIS | 362-785 | 1250 | 15.5 |
NIR | 400-1100 | 909 | 16.1 |
SWIR | 900-1700 | 571.4 | 17.8 |
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
1030/1064 | 1000-1100 | 1250 | 39 |
波長范圍 (mm) | 線密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
840 CWL | 800-880 | 1250/1190 | 30 |
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