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Products
更新時間:2024-10-29
瀏覽量:529
產(chǎn)品介紹
數(shù)據(jù)表
Trek 646 軟件驅(qū)動型靜電吸盤電源具有一系列功能，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用。該儀器采用 Advanced Energy 技術(shù)，其效率和通量是其他備件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信賴的性能，可用于多種獨特的工具和工藝，無需為設(shè)施中的每個獨特工具或工藝指定新的供應(yīng)。
產(chǎn)品亮點
可鎖定的前面板控制界面
每臺設(shè)備均提供 NIST 可追溯校準證書
支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)
將靜電吸盤輪廓上傳并存儲到裝置中，并通過用戶友好的軟件界面進行內(nèi)部存儲
晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態(tài)
減少背面氣體錯誤，提高吞吐量，并消除晶圓粘滯/爆裂問題
控制參數(shù)，如過流、晶圓存在和晶圓箝位閾值、箝位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部幅度/偏移控制
調(diào)整過程中的振幅/偏移和輸出控制的多功能性
使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控件控制輸出
配置自定義夾緊和夾緊序列和波形
產(chǎn)品規(guī)格
| 尺寸 | 88.1 x 431.8 x 531.9 mm (3.47 x 17 x 20.9 in) |
| 面板寬度 | 482.6 mm (19 in) |
| 重量 | 5.0 kg (11 lb) |
| 接地插座 | 接地螺栓 |
| 電源要求 | 24 VDC, 2.0 A |
| 工作溫度 | 0 to 35°C (32 to 104°F) |
| 相對濕度 | 達到85%，不凝結(jié) |
| 海拔高度 | 至2000米（6561.68英尺） |
| 輸出功率 （W） | 19.5 |
| 最大輸出電流 （A） | ±0.0065 |
| 轉(zhuǎn)換速率 （V/ms） | - |
| 輸出電壓范圍 （V） | 0 至 ±3000 |
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