用戶手冊(cè) 數(shù)據(jù)表

維薩拉Vaisala PR-33-S 半導(dǎo)體折射儀適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測(cè)量。該折光儀外形緊湊，流通池采用改良純 PTFE 制成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測(cè)量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機(jī)臺(tái)上。PR-33-S 包含一個(gè)純改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)線，不同標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開關(guān)均可通過以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)。PR-33-S 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度，當(dāng)化學(xué)品濃度超出規(guī)定范圍時(shí)，立即通過以太網(wǎng)反饋報(bào)警。例如，可通過配置低濃度和高濃度警報(bào)來控制和延長(zhǎng)溶液使用壽命。這里的濃度通過對(duì)溶液折射率 nD 和溫度測(cè)量來確定。PR-33-S 直接通過喇叭形或pillar配件進(jìn)行安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，體積小。

N.I.S.T. 標(biāo)準(zhǔn)下的可追溯校準(zhǔn)及驗(yàn)證，采用標(biāo)準(zhǔn)折射率液體和驗(yàn)證程序進(jìn)行驗(yàn)證

光學(xué)核心設(shè)計(jì)

通過以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程界面操作

標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 通信

過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)

內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測(cè)量及自動(dòng)溫度補(bǔ)償

主要優(yōu)點(diǎn)：

全數(shù)字化設(shè)備：維薩拉 K?PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于過程監(jiān)控，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)，設(shè)計(jì)緊湊，可直接串接在過程管路上。

滿量程下保持精確穩(wěn)定測(cè)量：折光率測(cè)量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-100%（重量百分比）。對(duì)于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（按重量百分比計(jì)），例如，鹽酸濃度。測(cè)量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級(jí)別微量雜質(zhì)影響。

易于維護(hù)：光學(xué)核心設(shè)計(jì)、無漂移、無需重新校準(zhǔn)、無需進(jìn)行機(jī)械調(diào)節(jié)。