MC系列 氣體質(zhì)量流量控制器描述：

產(chǎn)品手冊(cè)

響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動(dòng)

性能良好的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。

技術(shù)規(guī)格：

性能

可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號(hào)標(biāo)簽）

可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）

標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

可重復(fù)性：0.2%滿量程

標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度：-10°C至+60°C

最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

耐受壓力：175 psig（190 psia）

零件編號(hào)：

MC-0.5

MC-1

MC-5

MC-10

MC-20

MC-50

MC-100

MC-200

MC-500