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美國(guó)Coherent EnergyMax-USB J-25MUV-193無(wú)擴(kuò)散器脈沖能量傳感器 1191448

更新時(shí)間:2024-11-20

瀏覽量:262

產(chǎn)品介紹

美國(guó)Coherent EnergyMax-USB J-25MUV-193無(wú)擴(kuò)散器脈沖能量傳感器描述:

數(shù)據(jù)表 用戶手冊(cè)

美國(guó)Coherent EnergyMax-USB J-25MUV-193支持 USB 的 90 μJ 至 100 mJ 脈沖能量傳感器,重復(fù)頻率高達(dá) 500 pps,光譜范圍為 0.19 至 2.1 μm,有效區(qū)域直徑為 25 mm。帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器,用于以高達(dá) 500 pps 的速度測(cè)量 90 μJ 至 100 mJ 的激光脈沖。直接 USB 接口。

這款 J-25MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層,并針對(duì)在 193 nm 波長(zhǎng)下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接在 193 nm 處校準(zhǔn),包括 0.19 至 2.1 μm 的光譜補(bǔ)償。

EnergyMax-USB J-25MUV-193 能量傳感器端接在直接連接到 PC 的 USB 電纜中。DB25 模型 (PN 1110741) 可用。

大型散熱器 (PN 1123432) 可用于通過(guò)提高平均功率能力來(lái)擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)頻率。

主要特點(diǎn)

0.19 至 2.1 μm nm 光譜范圍

25 mm 有效區(qū)域直徑

90 μJ 至 100 mJ 能量范圍

500 pps 重復(fù)頻率操作

直接 USB 接口

ISO 17025 認(rèn)證

產(chǎn)品規(guī)格

電纜類型 USB
有效面積直徑 25 mm
探測(cè)器涂層 MaxUV
能量范圍 90 μJ 至 100 mJ
波長(zhǎng)范圍 190 nm 至 2100 nm
噪聲等效能量 <9 μJ
最大熱釋電重復(fù)速率(每秒脈沖數(shù)) 500
波長(zhǎng)范圍 (微米) 0.19 至 2.1
最大平均功率(瓦特) 5
最大脈沖寬度(微秒) 43
最大能量密度(毫焦耳/平方厘米) 200(193 nm,10 ns)
擴(kuò)散 No
校準(zhǔn)不確定度 (%)(k=2) ±3
能量線性度 (%) ±3
校準(zhǔn)波長(zhǎng)(納米) 193
電纜長(zhǎng)度(米) 3

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